微电子所召开中日超快激光计量学术研讨会

　　12月20日，微电子所光电研发部在北京新技术基地组织召开了中日超快激光计量研讨会。来自日本电气通信大学、清华大学、北京大学、北京航空航天大学、中国计量院、中科飞测、中科院微电子所等高校院所共计40余人参加了此次学术研讨会。本次研讨会由光电研发部周维虎研究员主持。 

　　会议首先邀请日本电气通信大学Minoshima教授、北京大学张志刚教授、北京航空航天大学郑铮教授、中国计量院曹士英副研究员、清华大学吴冠豪副教授介绍了各自在飞秒光梳及光梳计量领域的最新研究进展。微电子所谢常青研究员、中国计量院李伟副研究员、中科飞测李青格乐博士、周维虎介绍了各自在半导体检测领域的研究现状及测量需求。报告环节结束后，与会专家就“飞秒激光测量在半导体检测领域的应用”这一主题进行了全面而深入的讨论。 

　　本次学术研讨会聚集了飞秒激光计量和半导体产业两个领域的知名专家学者，通过不同领域学者之间的交流碰撞，启发了新的研究思路，有助于为半导体检测提供新的技术手段，为半导体行业的发展提供有力的支撑。通过举办本次研讨会，扩大了微电子所的学术影响力，提高了微电子所在该领域的知名度。 

研讨会现场