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通知公告

“Journal of Microelectronic Manufacturing”第三卷第一期发表征稿

稿件来源: 发布时间:2020-03-31

  近期,由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,国际标准期刊编号ISSN2578-3769)成功出版了第三卷第一期。 

      本期专题文章如下: 

 

  DFM: “Design for Manufacturing” or “Design Friendly Manufacturing” 

  Wenzhan Zhou, Hung-Wen Chao, Yu Zhang, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030101 

 

       


   Key Process Approach Recommendation for 5 nm Logic Process Flow with EUV Photolithography 

  Yushu Yang, Yanli Li, Qiang Wu, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030103 

 

  JoMM 旨在发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,内容包括但不限于DesignProcessMetrology & Yield ControlPackagingMaterialsEquipment 等方面。作为开放阅览电子学术期刊,JoMM致力于实现快速发表,稿件录用后即时上线,可阅览、下载、引用。 

  目前,JoMM正在进行2020年征稿,并免版面费,同时也在征集Special Issue的专题,以及欢迎新编委、同行评审专家加入JoMM,详情请查看官网http://www.777xsb.com/. 

  欢迎投稿! 

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